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Miniaturisierung |
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Die Entwicklung von Mikrosystemen verknüpft Mikrotechniken wie Mikroelektronik, Mikrooptik, Mikromechanik sowie die Informatikanwendungen miteinander. Mikromechanische Bauteile wie Mikrozangen, Mikrozahnräder, Mikrogelenke, Mikropumpen bilden wichtige Anwendungsfelder. Überdies ergibt sich durch eine Kombination der Mikrosystemtechnik mit Methoden der Biotechnologie ein hohes Innovationspotential für neue biotechnologische Verfahren. |
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